sem opなし → table(引数だけで決まる op —— 画像やデータの入力を取らない)import fullseye as fs; fs.ledger.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict' (実装を直接呼ぶなら import sem; sem.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict'、台帳から引くなら opsgenerative.get("sem_line_profile"))1 本の線(台形の断面)を横切って電子線を走査した線プロファイルを MC で出す(CD-SEM)。
線は y に一様。底辺の幅 width_nm・高さ height_nm・側壁角 sidewall_deg
(90 = 垂直)の台形で、材料 line_material が基板 substrate の上に乗る
(height_nm = 0 なら平らな基板)。ビームは幅 beam_sigma_nm のガウシアン、
位置ごとに electrons_per_point 個を撃つ。buried は基板に埋もれた矩形の列
[(材料名, x0, x1, 上端の深さ, 下端の深さ), ...] [nm]。
dict
x_nm / 検出器ごとの信号 se_total・inlens・everhart・bse
(電子 1 個あたり)/ eta / profile(pairs: x と inlens)/
真の寸法 width_bottom_nm・width_top_nm・width_mid_nm。
r = sem_line_profile(energy_kev=1.0, width_nm=30, height_nm=20, x_half_range_nm=30, … x_step_nm=10, electrons_per_point=40) r[“profile”].shape (7, 2)
py -3.11 examples/poc_virtual_sem_kv_cd_bse.pytable を入力に取れる)perpetual_step · perpetual_render
sem)sem_render · sem_electron_mc · sem_se_universal_curve · sem_yield_curve · sem_cd_measure · sem_image · sem_se_escape_fraction · sem_charging_series
Provenance: sem.py — GENERATIVE operator registry. この per-op ノートは tools/opdocs.py md が自動生成(手編集しない)。
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