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moire_talbot_gap — OPTICS moire_align op

使い方

近接ギャップの Talbot 効果: マスクの格子の像が、ギャップの先でどれだけ・どちらの符号で残るか。

近接露光ではマスクとウェハの間にギャップ g があり、マスクの格子を通った光はウェハに届くまでに回折する。 縞の振幅はマスクの像の基本波(1/p の成分)に比例するので、その振幅の gap = 0 に対する比を返す。 対称な格子ではこの比は実数で、ギャップによって符号が反転する(反転 = 縞が半周期ずれる = 読みが p/2 跳ぶ)。 Talbot 長 z_T = 2p²/λ(近軸)で像は元に戻り、z_T/2 で半周期ずれた像になる。 伝搬は optics.angular_spectrum_propagate(近軸近似を使わない)なので、z_T は近軸の値からわずかにずれる。

返り値: dict(contrast_ratio(符号つき)、phase_rad(0 か π)、talbot_length_um(近軸 2p²/λ)、 fundamental(複素の基本波係数)、fundamental_at_contact)。 Raises ValueError: 正でないピッチ・波長、負のギャップ、duty が (0, 1) の外、p < λ(伝搬する回折次数が無い)。

ファミリ共通の入力契約(fail-closed)

optics の全 op は入力を検証してから計算する(黙って通さない):

詳しい使い方ガイド

参考(サンプルデータ・文献)

実行できる例(この op を実際に呼ぶ検証済みサンプル)

型が繋がる次の op(table を入力に取れる)

abcd_matrix · wavefront_stats · sfr_from_edge · paraxial_trace · seidel_coefficients · spot_stats · tolerance_analysis · wavefront_from_opd

同カテゴリ(moire_align)

moire_magnification · moire_overlay_image · moire_phase · moire_phase_to_shift · moire_differential_shift · moire_mark_read · moire_phase_crlb


Provenance: moirealign.py — OPTICS operator registry. この per-op ノートは tools/opdocs.py md が自動生成(手編集しない)。

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