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moire_phase_crlb — OPTICS moire_align op

使い方

白色ガウス雑音の下で、縞の位相とずれをどこまで細かく読めるか(下限の閉形式)。

周波数が既知の正弦 A cos(2πx/P + φ) を N = n_rows × n_cols 画素の独立な雑音 σ の中で読むとき、 var(φ) ≥ 2σ² / (N A²)(Rife & Boorstyn 1974 の位相の下限)。窓 w で重みを付けたロックインは 係数 k_w = n Σw² / (Σw)² だけ悪い(Hann で約 1.5)。基準像にも同じ雑音があれば位相差の分散は 2 倍。 ずれの標準偏差 = σ_φ / |dφ/dδ| = σ_φ p / (2π)。差動の 2 対(各対が同じ画素数)は σ_δ,diff = √(σ_A² + σ_B²) / |g_A − g_B|。 ★これは雑音だけの下限。実際の位置合わせはマークの非対称・ギャップ・傾き・レジストなどの系統誤差で決まり、 公表値は 10〜30 nm(Li ら 2006、Zhu ら 2013)、空間位相の干渉法で 1 nm 未満の検出能(Moon & Smith 2005)。

返り値: dict(phase_std_rad, shift_std_nm(対 A だけ)、shift_std_nm_differential、window_factor, n_pixels)。 Raises ValueError: σ < 0、振幅・画素数が正でない、綴り違い、同じピッチ。

ファミリ共通の入力契約(fail-closed)

optics の全 op は入力を検証してから計算する(黙って通さない):

詳しい使い方ガイド

参考(サンプルデータ・文献)

実行できる例(この op を実際に呼ぶ検証済みサンプル)

型が繋がる次の op(table を入力に取れる)

abcd_matrix · wavefront_stats · sfr_from_edge · paraxial_trace · seidel_coefficients · spot_stats · tolerance_analysis · wavefront_from_opd

同カテゴリ(moire_align)

moire_magnification · moire_talbot_gap · moire_overlay_image · moire_phase · moire_phase_to_shift · moire_differential_shift · moire_mark_read


Provenance: moirealign.py — OPTICS operator registry. この per-op ノートは tools/opdocs.py md が自動生成(手編集しない)。

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